Zamerajte sa na špeciálny plynárenský priemysel

Elektronické plyny zahŕňajú elektronické špeciálne plyny a elektronické objemové plyny.Sú to nevyhnutné a kľúčové materiály vo výrobnom procese integrovaných obvodov, zobrazovacích panelov, polovodičového osvetlenia, fotovoltaiky a iných priemyselných odvetví.Elektronické špeciálne plyny sú nevyhnutné podporné materiály pre výrobu integrovaných obvodov.Sú široko používané vo fotolitografii, leptaní, tvorbe filmu, čistení, dopingu, nanášaní a iných procesných spojeniach.Majú vysoké požiadavky na čistotu, stabilitu, obalové nádoby atď., známe ako „potrava“ a „krv“ polovodičového priemyslu.Výroba integrovaných obvodov zahŕňa tisíce procesov, ktoré sú mimoriadne zložité a vyžadujú použitie stoviek špeciálnych elektronických plynov.Pri výrobe integrovaných obvodov možno elektronické plyny rozdeliť na dopingové plyny, plyny z implantácie iónov, čistiace plyny, leptacie plyny a fotolitografické plyny podľa rôznych procesov;elektronické plyny sú široko používané a majú vysoké technické požiadavky.Zdroje a ich napájacie systémy majú náročné požiadavky.Čistota plynu je základným parametrom špeciálnych plynových produktov, ktoré vyžadujú ultračistý a ultračistý plyn.Ultrapure vyžaduje čistotu plynu na dosiahnutie 4,5N, 5N alebo dokonca 6N alebo 7N.Zakaždým, keď sa čistota zvýši o jeden N a zakaždým, keď sa koncentrácia častíc a kovových nečistôt zníži o jeden rád, čistota plynu sa zvýši o jeden rád.Prináša výrazné zlepšenia v zložitosti a náročnosti procesov.Pre zmiešaný plyn je základným parametrom presnosť pomeru.Keď sa komponenty produktu zvyšujú a presnosť prípravy sa zvyšuje, od dodávateľov plynu sa často vyžaduje, aby vykonávali presné operácie na komponentoch plynu s rôznymi koncentráciami ppm alebo dokonca ppb.